Substrat wafer/ nilam nilam

Sapphire tergolong dalam kumpulan mineral Corundum. Ia adalah kristal oksida koordinasi biasa. Ia tergolong dalam sistem kristal trigonal. Kumpulan ruang kristal adalah R3C. Komposisi kimia utama ialah AI2O3. Bahan ini mempunyai kekerasan mod sehingga 9, kedua hanya untuk berlian. Sapphire mempunyai kestabilan kimia yang baik, kos penyediaan yang rendah dan teknologi matang, jadi ia telah menjadi bahan substrat utama peranti optoelektronik berasaskan GAN. Di samping itu, ia mempunyai sifat dielektrik dan mekanikal yang baik, dan digunakan secara meluas dalam paparan panel rata, peranti keadaan pepejal yang tinggi, pencahayaan fotoelektrik dan bidang lain. Substrat silikon juga digunakan secara meluas sebagai bahan substrat. Permukaan silikon disusun dalam bentuk heksagon dan kecerunan suhu menegak adalah besar, yang kondusif untuk pertumbuhan stabil kristal tunggal dan digunakan secara meluas. Walau bagaimanapun, kesukaran teknikal terbesar dalam membuat LED berasaskan GAN pada substrat silikon adalah ketidakcocokan kekisi dan ketidakcocokan terma. Kesalahan kekisi antara silikon dan galium nitride adalah beberapa kali dari silikon nitride, yang boleh menyebabkan masalah retak.

Medan semikonduktor biasanya menggunakan SIC sebagai bahan tenggelam. Kekonduksian terma silikon nitrida lebih tinggi daripada nilam. Adalah lebih mudah untuk menghilangkan haba daripada nilam dan mempunyai keupayaan antistatik yang lebih baik. Walau bagaimanapun, kos silikon nitrida jauh lebih tinggi daripada nilam, dan kos pengeluaran komersial tinggi. Walaupun substrat silikon nitrida juga boleh dipercayai, mereka mahal dan tidak mempunyai aplikasi sejagat. Bahan tenggelam lain seperti GAN, ZnO, dan lain -lain masih dalam peringkat penyelidikan dan pembangunan, dan masih jauh untuk pergi dari perindustrian.

Apabila memilih substrat, adalah perlu untuk mempertimbangkan pemadanan bahan substrat dan bahan epitaxial. Ketumpatan kecacatan substrat diperlukan untuk menjadi rendah, sifat kimia stabil, suhu kecil, ia tidak mudah untuk menghancurkan, dan ia tidak dapat bertindak balas secara kimia dengan filem epitaxial, dan mempertimbangkan keadaan sebenar. Kos pembuatan dalam pengeluaran. Substrat nilam mempunyai kestabilan kimia yang baik, rintangan suhu tinggi, kekuatan mekanikal yang tinggi, pelesapan haba yang baik di bawah keadaan semasa yang kecil, tiada penyerapan cahaya yang kelihatan, harga sederhana, teknologi pembuatan matang, dan boleh dikomersialkan.

Permohonan substrat nilam dalam medan SOS